测量半导体晶片的平坦度，厚度和厚度变化的能力对于晶片加工很重要。 传统的接触探针和传统的干涉测量系统太慢，或者在整个晶片表面积上没有必要的精度。
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测量半导体晶片的平坦度，厚度和厚度变化的能力对于晶片加工非常重要。 传统的接触探针和传统的干涉测量系统太慢，或者在整个晶片表面积上没有必要的精度。
TropelFlatMaster MSP晶圆（多表面轮廓仪）是一种频率步进干涉仪，可为300 mm以下的晶圆提供快速，准确的计量。 在几秒钟内，以亚微米的精度收集了超过300万个数据点，从而能够表征整个晶圆表面的总厚度和平坦度。
主要优点：?提高产品质量，制造良率和产量?降低制造成本 ?提高过程意识和理解 ?缩短上市时间 ?提高客户满意度 |
强大：?高分辨率和高精度，可覆盖整个晶圆表面?能够绘制出加工后晶片（例如CMP，Epi）中亚微米厚度的变化 ?大动态范围 ?操作员之间的重现性极佳 |
易于使用：?只需将零件放在系统上并进行测量?几乎不需要夹具 ?直观的配方驱动操作 ?适用于生产，质量控制或开发 |
灵活：?测量多种材料类型和表面光洁度 |
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var a_protocol = (("https:" == document.location.protocol) ? "https://" : "http://"); document.write(unescape("%3Cspan id='a_stat_icon_5395921'%3E%3C/span%3E%3Cscript src='" + a_protocol + "s9.a.com/stat.php%3Fid%3D5395921%26show%3Dpic1' type='text/javascript'%3E%3C/script%3E"));
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