测量半导体晶片的平坦度,厚度和厚度变化的能力对于晶片加工很重要。 传统的接触探针和传统的干涉测量系统太慢,或者在整个晶片表面积上没有必要的精度。
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测量半导体晶片的平坦度,厚度和厚度变化的能力对于晶片加工非常重要。 传统的接触探针和传统的干涉测量系统太慢,或者在整个晶片表面积上没有必要的精度。
TropelFlatMaster MSP晶圆(多表面轮廓仪)是一种频率步进干涉仪,可为300 mm以下的晶圆提供快速,准确的计量。 在几秒钟内,以亚微米的精度收集了超过300万个数据点,从而能够表征整个晶圆表面的总厚度和平坦度。
主要优点:?提高产品质量,制造良率和产量?降低制造成本 ?提高过程意识和理解 ?缩短上市时间 ?提高客户满意度 |
强大:?高分辨率和高精度,可覆盖整个晶圆表面?能够绘制出加工后晶片(例如CMP,Epi)中亚微米厚度的变化 ?大动态范围 ?操作员之间的重现性极佳 |
易于使用:?只需将零件放在系统上并进行测量?几乎不需要夹具 ?直观的配方驱动操作 ?适用于生产,质量控制或开发 |
灵活:?测量多种材料类型和表面光洁度 |
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